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隨著新能源、半導(dǎo)體、石油化工、先進(jìn)材料及科學(xué)儀器等領(lǐng)域不斷的發(fā)展,高壓氣體在供氣、輸送、反應(yīng)、儲(chǔ)運(yùn)及測(cè)試等環(huán)節(jié)的應(yīng)用日益廣泛。
在高壓(數(shù)MPa至數(shù)十MPa)工況下,氣體密度、流動(dòng)狀態(tài)等物性參數(shù)會(huì)發(fā)生明顯變化,對(duì)流量測(cè)量與控制設(shè)備的耐壓能力、測(cè)量精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性提出了更高要求。傳統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器受工作壓力及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)限制,往往難以滿足高壓、高壓差工況下的精準(zhǔn)測(cè)控需求。
高壓工況下,市面通用型質(zhì)量流量控制器(MFC)面臨哪些挑戰(zhàn)?
1、工作壓力通常僅1~3MPa范圍以內(nèi),無法覆蓋高壓需求;
2、當(dāng)壓力升高時(shí),高壓差可能造成傳感器測(cè)量漂移、閥門失控,無法有效控制流量,嚴(yán)重時(shí)甚至對(duì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成損傷;
3、高壓氣體具有更高的密度和更復(fù)雜的流動(dòng)特性,常規(guī)MFC在量程適配、測(cè)控精度等方面也容易受到影響。
4、高壓應(yīng)用對(duì)設(shè)備密封性能和機(jī)械強(qiáng)度提出了更嚴(yán)苛的要求。一旦密封或耐壓結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不足,不僅會(huì)影響設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性,還可能帶來氣體泄漏等安全風(fēng)險(xiǎn);
因此,高壓氣體測(cè)控的核心已不僅是“測(cè)得準(zhǔn)",更需要兼顧高耐壓、高穩(wěn)定、高可靠與安全性。我們自主研發(fā)的高壓氣體質(zhì)量流量控制器,采用熱式原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度、壓力的影響,同時(shí)配合耐高壓控制閥,實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體質(zhì)量流量的精準(zhǔn)檢測(cè)與閉環(huán)控制,尤其適用于高壓差、大壓力范圍及連續(xù)運(yùn)行等嚴(yán)苛工況。

這款高壓氣體質(zhì)量流量控制器的核心優(yōu)勢(shì)之一是高耐壓,最大壓差可達(dá)40MPa,突破傳統(tǒng)MFC在高壓應(yīng)用中的壓力限制,可覆蓋從低壓到高壓的不同工作環(huán)境,在各個(gè)壓力段均能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。采用管狀分流結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化氣體流通路徑,使介質(zhì)通過性更好,不易發(fā)生堵塞,有助于提升設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)行的穩(wěn)定性。同時(shí),產(chǎn)品具備預(yù)熱時(shí)間短、零點(diǎn)漂移小、響應(yīng)速度快、可靠性顯著等特點(diǎn),適用于需要高耐壓且壓差大的氣體控制工況。
在通信兼容性方面,支持RS232/485Modbus通訊,并可定制DeviceNet、PROFINET、EtherCAT、PROFIBUS-DP 等多種工業(yè)通信協(xié)議,可靈活接入各類自動(dòng)化控制系統(tǒng)。
可廣泛應(yīng)用于各類高壓氣體測(cè)控場(chǎng)景,例如:
• 氫能與儲(chǔ)氫領(lǐng)域:高壓氫氣供給/輸送、氫能裝備測(cè)試、固態(tài)儲(chǔ)氫材料研發(fā)及氫能裝備高壓氣體充裝與測(cè)試、氫氣循環(huán)及高壓氫氣輸送流量控制;
• 超臨界技術(shù)領(lǐng)域:CO?超臨界萃取/清洗、高壓CO?注入、超臨界流體反應(yīng)及高壓氣體精密供給;
• 石油天然氣領(lǐng)域:頁巖氣/煤層氣模擬、巖心驅(qū)替、油藏模擬、甲烷、CO2、N2等氣體高壓注入及油氣裝備測(cè)試;
• 化工石化領(lǐng)域:高壓催化反應(yīng)、精細(xì)化工實(shí)驗(yàn)中的高壓工藝氣體供給與流量控制;
• 新能源材料領(lǐng)域:電子材料研發(fā)、新能源材料制備、特種材料熱處理、高壓氣氛熱處理及材料性能測(cè)試;
• 科研與實(shí)驗(yàn)裝備領(lǐng)域:高溫高壓反應(yīng)釜、催化反應(yīng)、超臨界實(shí)驗(yàn)、高壓氣體實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的精準(zhǔn)供氣;
• 航空航天領(lǐng)域:空間環(huán)境模擬、航天推進(jìn)實(shí)驗(yàn)、高壓氣體充注及及航空航天裝備測(cè)試;
• 工業(yè)智能裝備領(lǐng)域:高壓氣體供氣、自動(dòng)化設(shè)備氣路控制、智能裝備氣體供應(yīng)、工業(yè)過程氣體流量控制;
• 儀器儀表領(lǐng)域:高壓標(biāo)準(zhǔn)氣體供給、儀器校準(zhǔn)、流量?jī)x表測(cè)試、泄漏測(cè)試及高壓氣體計(jì)量;
以及半導(dǎo)體周邊的科研研發(fā)、先進(jìn)封裝、設(shè)備耐壓測(cè)試等應(yīng)用。

我們還可提供防爆定制方案:
針對(duì)高壓、易燃易爆等特殊工況,ACCU還可提供本安防爆型高壓氣體質(zhì)量流量控制器定制方案。該產(chǎn)品防爆等級(jí)可達(dá)到ExiaⅡCT6 Ga,防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP65,同時(shí)具備40MPa耐壓能力,在實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)流量測(cè)量與控制的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提升設(shè)備在高壓危險(xiǎn)環(huán)境中的運(yùn)行安全性。
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